KLA-Tencor(TM) gibt die Auslieferung der ersten LMS IPRO5 bekannt Masken-Messsystem der nächsten Generation

– Beschleunigung fortgeschrittener Maskenentwicklung und
-fertigung

Heute hat KLA-Tencor Corporation(TM) die Auslieferung des ersten
LMS IPRO5 Messsystems für Maskenstrukturen bekannt gegeben. Der
Empfänger, das Advanced Mask Technology Center (AMTC) in Dresden,
wird das Messsystem für die Entwicklung seiner fortgeschrittenen
Maskentechnologie einsetzen, welches zur Qualifizierung der
Strukturlagegenauigkeit kritischer Schichten in integrierten
Schaltkreisen der nächsten Generation dient.

Die Entwicklung der LMS IPRO5 wurde in einem Verbundprojekt vom
Bundesministerium für Bildung und Forschung im Rahmen des Projekts
CDuR32, „Critical Dimension und Registration für die 32nm
Maskenlithographie“ finanziell unterstützt. Ziel des Projekts CDuR32
ist es, der Region Dresden, dem führenden Elektronikstandort in
Europa, einen Vorsprung in der Entwicklung und Fertigung moderner
Masken zu verschaffen. CDuR32 entspricht auch den Zielen des European
Nanoelectronics Initiative Advisory Council (ENIAC) (Initiative des
Europäischen Rates zur Etablierung eines gemeinschaftlichen
Unternehmens im Bereich Nanotechnologie) zum Ausbau der Position des
europäischen Marktes in der Nanotechnologie. Der Zugang zu dieser
Spitzen-Messtechnik ist massgeblich, wenn es darum geht, dass die
Maskenspezifikationen die engen Toleranzen in Grösse und Position für
die Herstellung von Chips der nächsten Generation einhalten.

Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) hat wesentlich zu
dem Projekt beigetragen. Sie entwickelte eine Referenzmesstechnik für
LMS IPRO5, um die Längen- und Geradheitsmessungen zu validieren und
die Kalibrierung des Geräts zu ermöglichen. Wissenschaftler der PTB
erforschten darüber hinaus mittels grundlegender experimenteller und
theoretischer Arbeiten die Anwendbarkeit der Scatterometrie sowie der
Elektronen- und Rastersondenmikroskopie in der Maskenmesstechnik.

Zu Beginn des Projekts war die LMS IPRO Produktgruppe Teil der
Geschäftseinheit Microelectronic Inspection Equipment (MIE) der
Vistec Semiconductor Systems GmbH. Im September 2008 wurde die
MIE-Geschäftseinheit von KLA-Tencor übernommen. Die Entwicklung und
Fertigung der branchenführenden LMS IPRO Produktlinie bleibt auf
deutschem Boden und zwar in Weilburg. Das zukunftsorientierte LMS
IPRO5 unterstützt die Einhaltung der strengen Präzisionsanforderungen
und Normen zur Qualifizierung der Strukturlagegenauigkeit der Masken
für die modernen Lithographietechniken und 3Xnm bis 2Xnm Chips.

Ãœber KLA-Tencor:

Die KLA-Tencor Corporation , weltweit führender Anbieter von
Prozesskontroll- und Ertragsmanagementlösungen für die
Halbleiterindustrie und zugehörige Branchen, arbeitet mit Kunden aus
aller Welt zur Entwicklung von modernsten Inspektions- und
Messgeräten zusammen. Diese Technologien werden für Halbeiter,
Datenspeicherung, LED, Photovoltaikanlagen und ähnliche Branchen im
Bereich Nanoelektrotechnik verwendet. Mit seinem Portfolio an
Industriestandard-Produkten und seinem Team aus erstklassigen
Ingenieuren und Wissenschaftlern hat das Unternehmen seine Kunden
nunmehr seit 30 Jahren mit hochentwickelten Lösungen beliefert.
KLA-Tencor hat seinen Unternehmenshauptsitz in Milpitas, Kalifornien,
und verfügt über Kundenservicecenter in aller Welt. Weiterführende
Informationen erhalten Sie auf www.kla-tencor.com. (KLAC-P)

Ãœber AMTC:

Die Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) ist ein
Joint Venture von GLOBALFOUNDRIES und Toppan Photomasks. Mit dem AMTC
ist ein weltweit führendes Zentrum für die Entwicklung und Fertigung
moderner Photolithographiemasken entstanden. Kontakt: Christiane
Demmler, Kommunikationsbeauftragte, 0351-4048-102,
christiane.demmler@amtc-dresden.com. Für weitere Informationen
besuchen Sie bitte http://www.amtc-dresden.de.

Zukunftsgerichtete Aussagen:

Andere Aussagen in dieser Pressemitteilung als historische Fakten
wie etwa bezüglich des erwarteten Erfolgs von LMS IPRO5, Trends in
der Halbleiterindustrie (und die diesbezüglich erwarteten
Herausforderungen), der prognostizierte Nutzen des LMS IPRO5 für
KLA-Tencors Kunden sowie die geschätzten Kosten, betrieblichen und
andere möglichen Vorteile für die Anwender der LMS IPRO5 Anlagen sind
zukunftsgerichtete Aussagen und unterliegen den durch den Private
Securities Litigation Reform Act von 1995 in Kraft getretenen Safe
Harbour-Richtlinien. Diese zukunftsgerichteten Aussagen basieren auf
aktuellen Informationen und Prognosen und bergen zahlreiche Risiken
und Unsicherheiten. Die tatsächlichen Ergebnisse können massgeblich
von den in den Aussagen prognostizierten Resultaten aufgrund einer
Vielzahl von Faktoren abweichen, wie etwa Verzögerungen im Einsatz
neuer Technologien , die Einführung ähnlicher Produkte durch andere
Unternehmen oder unerwartete technologische Herausforderungen oder
Einschränkungen, die die Implementierung, die Leistung oder den
Nutzen der Produkte von KLA-Tencor beeinflussen.

Pressekontakt:
Ansprechpartner für Investoren, Ed Lockwood, Sr.
Director,Investorenbeziehungen, +1-408-875-9529,
ed.lockwood@kla-tencor.com, oderAnsprechpartner für
Pressemitarbeiter, Meggan Powers, Sr.
Director,Unternehmenskommunikation, +1-408-875-8733,
meggan.powers@kla-tencor.com

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