FHR wählt DC-Prozessstromversorgungstechnik von Advanced Energy für neues Rolle-zu-Rolle-Beschichtungssystem

Die Produkte Ascent(R) AMS, DMS DC und die bipolaren Produkte bieten Innovation,
überragende Prozessstabilität und Zuverlässigkeit bei kritischen SiO2-PVD-
Anwendungen

FORT COLLINS, Colorado, 15. Mai 2015 (GLOBE NEWSWIRE) — Advanced Energy
Industries Inc. (Nasdaq:AEIS) gab heute bekannt, dass die bipolaren
Prozessstromversorgungen sowie die Systeme Ascent AMS und DMS DC ausgewählt
wurden, um die Energie für ein leistungsfähiges Rolle-zu-Rolle-
Beschichtungssystem zu liefern, das momentan in Deutschland gebaut wird. FHR
Anlagenbau GmbH (FHR), ein deutscher Hersteller für Dünnschicht-
Vakuumprozesssysteme aus Ottendorf-Okrilla, wird Ascent-Geräte von Advanced
Energy (AE) in einem Inline-Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtungssystem mit 1,6 m
Breite und 12 km Rollenlänge einsetzen. Die Anlage ist für einen Kunden in Asien
vorgesehen und arbeitet mit PVD-Sputtertechnologie, um verschiedene Oxidfilme
wie beispielsweise Siliziumdioxid (SiO2) in emissionsarmen
Beschichtungsanwendungen aufzubringen.

Die praxiserprobten Ascent-Stromversorgungen liefern eine stabile,
reproduzierbare Prozessleistung, um Metall- und Oxidschichten herausragender
Filmqualität, Produktivität und Ausbeute in emissionsarmen Anwendungen zu
produzieren. Diese präzise Bereitstellung von Energie, die für die Erreichung
von Abscheidungen mit hoher Qualität und Geschwindigkeit entscheidend ist, fußt
auf dem umfangreichen unternehmenseigenen Know-how von AE, darunter die Arc
Management System(TM)-Technologie, eine leistungsfähige Boost-Funktion sowie
eine ausgefeilte Echtzeitkontrolle von Dünnschicht-Plasmaparametern.

„Die neuen Entwicklungen bei Stromversorgungen der letzten Jahre haben
entscheidend zu den Technologie- und Produktivitätsfortschritten in PVD-Anlagen
beigetragen“, sagte Sascha Kreher, Leiter Verfahrenstechnik bei FHR Anlagenbau.
„Besonders auf dem Gebiet von reaktivem Dual-Magnetron-Sputtering mit hohen
Raten wurden signifikante Fortschritte erzielt, die die Wettbewerbsfähigkeit,
Leistung und Flexibilität von FHR-Anlagen bei führenden Prozessen gesteigert
hat.“

Die Ascent DMS-Serie glänzt beim Management von Bogenentladungen – auch bei
kritischen Prozessmaterialien wie SiO2. Dies wird durch das bipolare Design
erreicht, bei dem Spannungs- und Stromhalbwellen gemessen und Bögen rasch
gelöscht werden. Die unabhängige Stromsteuerung jeder Kathode ermöglicht den
automatischen Ausgleich des Arbeitszyklus entsprechend dem Verschleißprofil der
einzelnen Targets, was zu einer erhöhten Uniformität der Target-Erosion und zu
längeren Einsätzen führt. Eine steuerbare Pulsanstiegs-Boost-Funktion bietet
deutliche Vorteile für das Design des Vakuumsystems und macht aus einem Ascent
DMS-Gerät eine Stromquelle und trägt zu Abscheidungsraten bei, die die
konventionellen Grenzen weiter verschieben. Exklusive Stromversorgungsoptionen
wie eine wählbare Frequenz und eine unabhängige Stromverhältnisregelung für
jedes Magnetron liefern Leistungsstabilität, Prozesswiederholbarkeit und
-übertragbarkeit im Leistungs-, Strom- oder Spannungsregelmodus.

„AE hat eine neue Ära der Präzisionsstromumformung für Dual-Magnetron-Sputter
eingeläutet“, sagte Yuval Wasserman, Präsident und CEO von Advanced Energy. „Wir
freuen uns, dass die stabile, reproduzierbare Leistungsabgabe des Ascent AMS-
und DMS-Reihen FHR dabei hilft, Verfahrensprobleme zu lösen und Innovationen zu
erzielen. Unsere Produkte bieten außergewöhnliche Fähigkeiten, damit unsere
Kunden neue Anwendungen entwickeln und neue Möglichkeiten realisieren können.“

Ãœber Advanced Energy

Advanced Energy (Nasdaq:AEIS) ist ein weltweit führender Anbieter von
innovativen Stromversorgungs- und Steuerungstechnologien für wachstumsstarke
Präzisionsstromwandlungslösungen. Das Unternehmen hat seinen Hauptsitz in Fort
Collins, Colorado, und unterhält eigene Support- und Service-Standorte auf der
ganzen Welt. Weitere Informationen finden Sie unter www.advanced-energy.com.

Ãœber die FHR Anlagenbau GmbH

Die FHR Anlagenbau GmbH in Ottendorf-Okrilla ist auf die Entwicklung von
innovativen Dünnschichttechnologien und Vakuumbeschichtungsanlagen sowie
Dienstleistungen im Dünnschichtbereich spezialisiert. Das 1991 in Dresden
gegründete Unternehmen gehört seit 2008 zur centrotherm-Gruppe. Größtes
Geschäftsfeld ist der Vakuumbeschichtungsanlagenbau für Industrie und Forschung
zur Nutzung von Bedampfungs-, Sputter-, CVD- und ALD-Technologien. Das FHR-
Produktportfolio umfasst Vakuumprozessanlagen für vielfältige
Wirtschaftsbereiche wie die Photovoltaik, hier speziell CIGS-Solarzellen und
organische PV-Technologie, die Solarthermie, die Optik, die Elektronik und
Sensortechnik sowie den Automobilbau. Ein strategischer Produktschwerpunkt sind
Folienbeschichtungsanlagen für die Herstellung biegsamer Elektronik, flexibler
Solarzellen und organischer Displayfilme. Hier nimmt FHR eine führende
Technologie- und Marktposition ein. In einem weiteren Geschäftsbereich
fertigt FHR Sputtertargets für die Beschichtungsindustrie. Weltweit arbeitet FHR
mit namhaften Industriepartnern und Forschungsinstitutionen zusammen.

KONTAKT: Bates Marshall
         Senior Vice President
         Global Sales, Marketing and Service
         Advanced Energy Industries, Inc.
         +1.408.574.2534

This announcement is distributed by GlobeNewswire on behalf of
GlobeNewswire clients. The owner of this announcement warrants that:
(i) the releases contained herein are protected by copyright and
other applicable laws; and
(ii) they are solely responsible for the content, accuracy and
originality of the information contained therein.

Source: Advanced Energy Industries, Inc. via GlobeNewswire
[HUG#1921914]