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Mit IRIS durch Wände messen

Mikromechanische Systeme wie Beschleunigungs- und Drehratensensoren enthalten komplexe, als Silizium-Mikromechanik realisierte, bewegliche Komponenten, die hermetisch von der Umgebungsatmosphäre abgeschirmt und für optimale Betriebsbedingungen evakuiert sind. Die während der Systementwicklung wichtige direkte optische Messung des dynamischen Verhaltens der Mikromechanik erforderte bislang eine aufwendige Entkappung des Sensors und Messung in Verbindung mit sogenannten Vakuum-Probern.

Mit dem neuen MSA-650 IRIS Micro System Analyzer von Polytec können die MEMS-Entwickler nun direkt durch die Siliziumkappe des Bauelementes hindurch die Bewegung der MEMS-Komponenten hochaufgelöst in Echtzeit erfassen ? bei Frequenzen bis zu 25 MHz. Ermöglicht wird dies durch eine innovative, patentierte Messtechnik mittels eines speziellen Infrarot-Interferometers. Die integrierte IR-Kamera schaut ebenfalls durch die Kappe hindurch, liefert hochaufgelöste Bilder der MEMS-Mechanik und ermöglicht mittels stroboskopischer Videomikroskopie eine Messung der planaren Bewegungskomponente (?In-Plane?).

Die Hauptvorteile des neuen MSA sind die schnelle Messung unter den tatsächlichen Betriebsbedingungen ohne aufwendige Präparation sowie die exzellente Datenqualität aufgrund der kurzkohärent-interferometrischen Unterdrückung von Störeinflüssen.

Mehr Infos unter: https://www.polytec.com/de/vibrometrie/produkte/service-support/msa-iris-messdienstleistung

Polytec wurde 1967 gegründet und bot als Pionier in Deutschland erstmalig kommerzielle Lasertechnologie für Industrie und Forschung an. Aufbauend auf dem Erfolg im Distributionsgeschäft begann Polytec in den 70er Jahren mit der Entwicklung und der Fertigung eigener, innovativer, laser-basierter Messgeräte.

Gestern wie auch heute wird der weltweite Standard für laser-basierte Schwingungs-, Geschwindigkeits- und Längenmesssysteme von Polytec Produkten definiert. Die Entwicklung von High-Tech-Produkten ist bei Polytec eine strategische Kernaktivität und hat neben den Lösungen aus dem Bereich optische Messsysteme zu einer Palette von weiteren Eigenprodukten in den Anwendungsgebieten Oberflächenmesstechnik, Analytische Messtechnik, Noise Analysis und Prozessautomation geführt.

Unsere weltweiten Aktivitäten

Polytec ist ein weltweit tätiges Unternehmen mit Niederlassungen in Europa, Nord-Amerika und Asien. In der internationalen Fachwelt genießt Polytec eine hervorragende Reputation für innovative Produkte, herausragende Qualität und erstklassigen Service.

Die innovativen Lösungen von Polytec erlauben unseren Kunden, eigene technologische Führungsstärke in den unterschiedlichsten Bereichen zu behaupten. In Märkten von Automobilbau, Luft- und Raumfahrttechnik und Maschinenbau über Data Storage, Microsystemtechnik und Nanotechnologie bis hin zu Biologie und Medizin wird das Vertrauen der Kunden in Polytec und seine Produkte immer wieder bestätigt. Weiterhin stellt die Distribution exzellenter High-Tech-Produkte anderer innovativer Hersteller eine Kernkompetenz von Polytec dar.

Bei Polytec sind wir der höchstmöglichen Zufriedenheit unserer Kunden verpflichtet und bieten deshalb neben exzellenten Produkten über unsere Niederlassungen in Europa, Nord-Amerika und Asien direkt vor Ort auch Service, Support und Anwendungsunterstützung. Polytec ist seit 1994 ISO-zertifiziert, zuletzt nach DIN EN ISO 9001:2015.

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