Der „n.jet pv“ ist das 2. Modell in einer
neuen Serie von Inkjet-Druckern, bei dem eine hohe Flexibilität der
Druckkopftechnik und die sofortige Überführung aus dem Labor in die
Fertigung die Schlüsseleigenschaften sind.
Der „n.jet pv“ erlaubt kontaktloses Bedrucken aller gängigen
Wafergrößen. Er ist gut geeignet für ultra-dünne Wafer, da er ein
sanftes Inline-Wafer-Transportsystem besitzt und sowohl für Masken
als auch die Metallisierung verwendet werden kann. Sein sehr präziser
mechanischer Aufbau einschließlich Selbst-Kalibrierung und seine hohe
Robustheit erlauben den (24/7)Betrieb und resultieren in geringen
Gesamtkosten. Bis zu acht Druckköpfe pro Werkzeug werden aus einer
großen Palette an Kopftypen unterstützt. Die Druckköpfe werden in dem
speziell entwickelten Schnellspannsystem montiert, in dem alle
Düsenpositionen auf eine Abweichung von unter 1 µm kalibriert werden.
Bis zu 5080 x 5080 dpi Druckauflösung, +/- 3 µm
Tropfenplatziergenauigkeit und +/- 1 µm Wiederholgenauigkeit stellen
ein hohe Gesamtgenauigkeit sicher. Die Druckköpfe werden automatisch
mit Spül-, Sicker- und Standby-Druck-Methoden entweder an Abwisch-
oder kontaktlosen Vakuumreinigungsstationen gesäubert. Dabei ist es
möglich, alle Druckköpfe simultan zu reinigen, wobei eine luftdichte
Abdeckung als Standard vorhanden ist.
Die Schwarz/Weiß-CCD-Justierkamera hat 1624 x 1624 Pixel Auflösung
und eine Justiergenauigkeit von +/- 2 µm. Verfügbare Justiermarken
sind 2…4 Passermarken und Kanten, eine wählbare Ringleuchte dient
als Beleuchtung. Die Kamera zur Überwachung der Tropfen ist ebenfalls
eine Schwarz/Weiß-CCD-Kamera mit 1388 x 1388 Pixel Auflösung, Das
Tropfenüberwachungssystem arbeitet in Echtzeit und misst das Volumen
der Tropfen.
Das Tintensystem enthält Tanktypen für UV-aushärtbare, auf
Lösungsmittel und auf Wasser basierende sowie durch Temperatur
aushärtende (bis zu 120 °C) Tinten. Inerte Dichtungen und hoch
belastbare Rohre stellen die chemische und mechanische Robustheit
sicher. Ein automatisches System zum erneuten Auffüllen steht als
Option zur Verfügung.
Pressekontakt:
NOTION Systems GmbH
Herr Prof. Dr. Michael Doran
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