SÜSS MicroTec installiert ELP300 Excimer Laser Stepper beim Fraunhofer IZM Berlin
(DGAP-Media / 20.11.2013 / 16:56)
PRESSEMITTEILUNG
SÜSS MicroTec installiert ELP300 Excimer Laser Stepper beim Fraunhofer IZM
Berlin
Garching, 20. November 2013 – SÜSS MicroTec, globaler Hersteller von
Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte
Märkte hat beim Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und
Mikrointegration IZM, Berlin, ein ELP300 Excimer Laser Stepper System für
die Anwendungsbereiche Advanced Packaging und Laser
